Four tubulaire CVD #

Le four tubulaire CVD de laboratoire sous vide CVSIC est conçu pour le dépôt chimique en phase vapeur et le traitement thermique à haute température ; il est destiné aux laboratoires universitaires, aux instituts de recherche et aux fabricants. Doté d'une chambre en fibre céramique de haute pureté, de fils ou de tiges de résistance robustes et de tubes en quartz ou en alumine de haute pureté, il atteint des températures allant jusqu'à 1 600 °C tout en maintenant un vide poussé et un contrôle précis du débit de gaz. Des brides en acier inoxydable garantissent un environnement pur et des résultats efficaces.

Doté d'une commande programmable à 50 segments, d'un refroidissement à air à double couche et d'une précision de ±1 °C, ce système prend en charge les procédés avancés de dépôt et de traitement thermique. Il intègre le mélange des gaz et le contrôle du débit, ce qui le rend idéal pour la recherche de haute précision et les besoins de production en petites séries.

## Application du four tubulaire CVD CVSIC

Découvrez de nouvelles possibilités avec le four tubulaire CVD sous vide CVSIC pour un large éventail d'applications scientifiques, industrielles et de fabrication de pointe :

- Dépôt de couches minces : dépôt chimique en phase vapeur (CVD) pour la préparation de films semi-conducteurs, de revêtements et de matériaux fonctionnels.

- Préparation de nanomatériaux : fabrication et traitement thermique de nanotubes de carbone, de fils de silicium et de matériaux en couches minces.

- Matériaux pour batteries au lithium : procédés CVD et frittage à haute température pour les matériaux de cathode et d'anode.

- Céramique et métallurgie des poudres : utilisé pour recouvrir et traiter la céramique et les poudres métalliques à haute température.

- Recherche scientifique : aide à la création de nouveaux matériaux et soutient la recherche fondamentale dans les écoles et les laboratoires.

- Applications industrielles : utilisé pour la production en petites séries de films et de matériaux de précision à l'aide de méthodes CVD.

Caractéristiques du four tubulaire CVD CVSIC ##

- Large plage de températures : prend en charge 1 200 °C, 1 400 °C, 1 600 °C (températures de fonctionnement 1 100 °C, 1 300 °C, 1 600 °C) pour répondre aux diverses exigences des procédés CVD.

- Performances de vide poussé : un vide ultime de 7×10⁻⁴ Pa et un vide maximal de -0,1 MPa garantissent un environnement de dépôt pur.

- Contrôle précis des gaz : le réservoir de mélange de gaz et le débitmètre assurent une régulation précise du N₂, de l'Ar et des mélanges de gaz.

- Options flexibles pour les tubes du four : les tubes en quartz de haute pureté (1 200 °C) ou en alumine (1 400 °C, 1 600 °C) offrent une résistance aux températures élevées et à la corrosion.

- Contrôle intelligent de la température : le contrôle PID à 50 segments garantit une précision de ±1 °C et une uniformité de ±5 °C.

- Conception sécurisée : coupure automatique de l'alimentation pour plus de sécurité ; le refroidissement à air à double couche maintient la surface en dessous de 50 °C.

- Construction durable : la conception à bride réglable prolonge la durée de vie des tubes et réduit les besoins en maintenance.

- Chauffage efficace : chauffe jusqu'à 20 °C/min, optimisant ainsi l'efficacité expérimentale.

Services de personnalisation ##

CVSIC vous propose des solutions entièrement personnalisées pour garantir une adaptation parfaite à vos exigences spécifiques en matière de processus CVD, en veillant à ce que chaque spécification soit précisément respectée :

- Personnalisation des tubes de four : choisissez des diamètres de tube compris entre 40 mm et 120 mm et des longueurs de zone de chauffage de 300 mm, 350 mm, 400 mm ou 450 mm. Optez pour des matériaux en quartz de haute pureté ou en oxyde d'aluminium en fonction de vos besoins de recherche.

- Configuration de la température : plages de température personnalisables de 1 200 °C, 1 400 °C ou 1 600 °C pour répondre à des exigences de processus spécifiques.

- Éléments chauffants : les options comprennent le fil de résistance HRE contenant du molybdène, **[les tiges en carbure de silicium](https://cvsicelement.com/silicon-carbide-heating-elements/)**, ou **[des tiges chauffantes MoSi2](https://cvsicelement.com/mosi2-heating-elements/)**. Choisissez l'élément chauffant le mieux adapté à vos exigences en matière de température et de processus.

- Système de vide et de gaz : Choisissez entre des configurations à vide poussé (7×10⁻⁴ Pa), à vide faible, ou un système de contrôle multigaz équipé de débitmètres pour des types de gaz spécifiques.

- Système de contrôle : Choisissez entre un écran tactile HD de 7 pouces, un logiciel de connectivité PC pour le fonctionnement à distance ou une fonctionnalité d'enregistrement des données, selon vos préférences en matière de surveillance.

- Assistance mondiale : Fournit des conseils d'installation, une formation à l'utilisation et des services de maintenance pour garantir un fonctionnement stable à long terme.

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Spécifications du four CVD

| TEMPÉRATURE MAXIMALE : | 1200 ℃ / 1400 ℃ / 1600 ℃ | VIDE NORMAL : | -0,1 MPa |
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| VIDE MAXIMAL : | Pompe moléculaire en option, vide 7×10⁻⁴ Pa (en option) | BRIDE : | Bride d'étanchéité en acier inoxydable 304 |
| PROTECTION CONTRE LA SURCHAUFFE : | Coupure automatique de l'alimentation lorsque la température dépasse la valeur admissible définie | PROTECTION DE SÉCURITÉ : | Coupure automatique de l'alimentation en cas de fuite du corps du four |
| STRUCTURE DU FOUR : | Acier double paroi avec double ventilateur de refroidissement, température de surface inférieure à 50 °C | VITESSE DE CHAUFFAGE MAXIMALE : | 20 °C/min |
| PRÉCISION DE LA TEMPÉRATURE : | ±1 °C | HOMOGÉNÉITÉ DE LA TEMPÉRATURE : | ±5 °C |
| CONTRÔLE DE LA TEMPÉRATURE : | 50 segments programmables et contrôle automatique | APPLICATION : | Essais CVD |

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Four CVD de laboratoire jusqu'à 1200 ℃

| Modèle | Diamètre*Zone de chauffage | Puissance | Température maximale de fonctionnement | Thermocouple | Matériau du tube du four | Éléments chauffants |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| couple |  |  |  |  |  |  |
| CV-12NT-40/300 | 40 x 300 mm | 3 kW | 1 200 °C | Type K | Tube en quartz | Fil Fe-Cr-Al-Mo |
| CV-12NT-60/300 | 60 x 300 mm | 3 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-80/300 | 80 x 300 mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-100/300 | 100 x 300 mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-120/300 | 120 x 300 mm | 6 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-40/450 | 40 x 450 mm | 3 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-60/450 | 60 x 450 mm | 3 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-80/450 | 80 x 450 mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-100/450 | 100 x 450 mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-120/450 | 120 x 450 mm | 6 kW |  |  |  |  |

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Four CVD de laboratoire jusqu'à 1 400 °C

| Modèle | Diamètre*Zone de chauffage | Puissance | Température maximale de fonctionnement | Thermocouple | Matériau du tube du four | Éléments chauffants |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| couple |  |  |  |  |  |  |
| CV-14ST-40/300 | 40 x 300 mm | 4 kW | 1 400 °C | Type S | Tube en alumine | Élément chauffant en SiC |
| CV-14ST-60/300 | 60 x 300 mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-80/300 | 80 x 300 mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-100/300 | 100 x 300 mm | 6 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-120/300 | 120 x 300 mm | 6 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-40/450 | 40 x 450 mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-60/450 | 60 x 450 mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-80/450 | 80 x 450 mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-100/450 | 100 x 450 mm | 6 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-120/450 | 120 x 450 mm | 6 kW |  |  |  |  |

## 
Four CVD de laboratoire jusqu'à 1 600 °C

| Modèle | Diamètre* de la zone de chauffage | Puissance | Température maximale de fonctionnement | Thermocouple | Matériau du tube du four | Éléments chauffants |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| zone | couple |  |  |  |  |  |
| CV-16MT-40/300 | 40 x 300 mm | 4 kW | 1600 °C | Type B | Tube en alumine | Élément chauffant MoSi2 |
| CV-16MT-60/300 | 60 x 300 mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-80/300 | 80 x 300 mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-100/300 | 100 x 300 mm | 6 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-120/300 | 120 x 300 mm | 6 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-40/450 | 40 x 450 mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-60/450 | 60 x 450 mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-80/450 | 80 x 450 mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-100/450 | 100 x 450 mm | 7 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-120/450 | 120 x 450 mm | 7 kW |  |  |  |  |

## CVSIC Accessoires pour four à tube CVD de laboratoire sous vide

### Accessoires standard

- Bouchons de tube : 4 pièces

- Tube du four : 1 pièce

- Pompe à vide : 1 unité

- Brides d'étanchéité sous vide : 2 jeux

- Manomètre à vide : 1 unité

- Réservoir de mélange de gaz : 1 unité

-  Débitmètre : 1 unité

### Accessoires en option

- Système de vide : pompe à palettes, pompe à diffusion, pompe moléculaire

- Accessoires de bride : brides à démontage rapide, brides en T

- Système de contrôle : écran tactile HD 7 pouces

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