# CVD 튜브 퍼니스

CVSIC 진공 실험실용 CVD 튜브 퍼니스는 화학적 기상 증착 및 고온 열처리를 위해 제작되었으며, 대학 연구실, 연구 기관 및 제조업체에 공급됩니다. 고순도 세라믹 파이버 챔버, 견고한 저항선 또는 저항봉, 고순도 석영 또는 알루미나 튜브를 갖추고 있어, 고진공 상태와 정밀한 가스 유량 제어를 유지하면서 최대 1600℃의 온도에 도달합니다. 스테인리스 스틸 플랜지는 순수한 환경과 효율적인 결과를 보장합니다.

50단계 프로그래밍 제어, 이중 공기 냉각 시스템, ±1°C의 정밀도를 갖춘 이 시스템은 첨단 증착 및 열처리를 지원합니다. 가스 혼합 및 유량 제어 기능을 통합하여 고정밀 연구 및 소량 생산 요구에 이상적입니다.

## CVSIC CVD 튜브 퍼니스 적용 분야

CVSIC 진공 CVD 튜브 퍼니스를 통해 다양한 첨단 과학, 산업 및 제조 응용 분야에서 새로운 가능성을 열어보세요:

- 박막 증착: 반도체 박막, 코팅 및 기능성 소재 제조를 위한 화학적 기상 증착(CVD).

- 나노 소재 제조: 탄소 나노튜브, 실리콘 와이어 및 박막 소재의 제조 및 열처리.

- 리튬 배터리 소재: 양극 및 음극 소재를 위한 CVD 공정 및 고온 소결.

- 세라믹 및 분말 야금: 고온에서 세라믹 및 금속 분말을 코팅하고 처리하는 데 사용됩니다.

- 과학 연구: 새로운 소재 개발을 돕고 학교 및 연구소의 기초 연구를 지원합니다.

- 산업적 응용: CVD 방식을 이용한 정밀 박막 및 소재의 소량 생산에 사용됩니다.

## CVSIC CVD 튜브 퍼니스 특징

- 넓은 온도 범위: 1200℃, 1400℃, 1600℃(작동 온도 1100℃, 1300℃, 1600℃)를 지원하여 다양한 CVD 공정 요구 사항을 충족합니다.

- 고진공 성능: 최종 진공도 7×10⁻⁴ Pa 및 최대 진공도 -0.1 MPa로 순수한 증착 환경을 유지합니다.

- 정밀한 가스 제어: 가스 혼합 탱크와 유량계를 통해 N₂, Ar 및 다중 가스를 정밀하게 조절합니다.

- 유연한 퍼니스 튜브 옵션: 고순도 석영(1200℃) 또는 알루미나(1400℃, 1600℃) 튜브는 내열성과 내식성을 제공합니다.

- 지능형 온도 제어: 50구간 PID 제어를 통해 ±1℃의 정확도와 ±5℃의 균일성을 보장합니다.

- 안전 설계: 안전을 위한 자동 전원 차단 기능; 이중층 공랭식 설계로 표면 온도를 50℃ 미만으로 유지합니다.

- 내구성 있는 구조: 조절 가능한 플랜지 설계로 튜브 수명을 연장하고 유지보수 필요성을 줄입니다.

- 효율적인 가열: 분당 최대 20℃의 가열 속도로 실험 효율을 극대화합니다.

## 맞춤형 서비스

CVSIC는 고객의 고유한 CVD 공정 요구 사항에 완벽하게 부합하는 맞춤형 솔루션을 제공하여 모든 사양을 정확하게 충족시킵니다:

- 퍼니스 튜브 맞춤 제작: 40mm에서 120mm 사이의 튜브 직경과 300mm, 350mm, 400mm 또는 450mm의 가열 구역 길이를 선택할 수 있습니다. 연구 요구 사항에 따라 고순도 석영 또는 알루미나 소재 중에서 선택하십시오.

- 온도 설정: 특정 공정 요구 사항에 맞춰 1200℃, 1400℃ 또는 1600℃ 온도 범위를 맞춤 설정할 수 있습니다.

- 가열 요소: HRE 몰리브덴 함유 저항선, **[실리콘 카바이드 봉](https://cvsicelement.com/silicon-carbide-heating-elements/)**, 또는 **[MoSi2 가열봉](https://cvsicelement.com/mosi2-heating-elements/)**이 있습니다. 귀하의 온도 및 공정 요구 사항에 가장 적합한 가열 요소를 선택하십시오.

- 진공 및 가스 시스템: 고진공(7×10⁻⁴ Pa), 저진공 구성 또는 특정 가스 유형에 대한 유량계가 장착된 다중 가스 제어 시스템 중에서 선택하십시오.

- 제어 시스템: 모니터링 선호도에 따라 7인치 HD 터치스크린, 원격 조작을 위한 PC 연결 소프트웨어, 또는 데이터 로깅 기능 중 하나를 선택하십시오.

- 글로벌 지원: 장기적인 안정적 작동을 보장하기 위해 설치 안내, 운영 교육 및 유지보수 서비스를 제공합니다.

## 
CVD 퍼니스 사양

| 최대 온도: | 1200℃ / 1400℃ / 1600℃ | 정상 진공도: | -0.1MPa |
| --- | --- | --- | --- |
| 최대 진공도: | 분자 펌프 구성 시 진공도 7×10⁻⁴ Pa (옵션) | 플랜지: | 304 스테인리스 스틸 밀봉 플랜지 |
| 과열 보호: | 온도가 허용 설정값을 초과할 경우 자동 전원 차단 | 안전 보호: | 용광로 본체 누출 시 자동 전원 차단 |
| 가마 구조: | 이중층 강철 이중 냉각 팬, 표면 온도 50℃ 미만 | 최대 가열 속도: | 20°C/분 |
| 온도 정확도: | ±1℃ | 온도 균일도: | ±5℃ |
| 온도 제어: | 50단계 프로그래밍 및 자동 제어 | 적용 분야: | CVD 테스트 |

## 
최대 1200℃까지 지원되는 실험실용 CVD 용광로

| 모델 | 직경*가열 구역 | 출력 | 최대 작동 온도 | 온도 센서 | 가마 튜브 재질 | 가열 요소 |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| 커플 |  |  |  |  |  |  |
| CV-12NT-40/300 | 40x300mm | 3 kW | 1200℃ | K형 | 석영관 | Fe-Cr-Al-Mo 와이어 |
| CV-12NT-60/300 | 60x300mm | 3 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-80/300 | 80x300mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-100/300 | 100x300mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-120/300 | 120x300mm | 6 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-40/450 | 40x450mm | 3 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-60/450 | 60x450mm | 3 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-80/450 | 80x450mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-100/450 | 100x450mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-120/450 | 120x450mm | 6 kW |  |  |  |  |

## 
최대 1400℃까지 지원되는 실험실용 CVD 용광로

| 모델 | 직경*가열 구역 | 출력 | 최대 작동 온도 | 온도계 | 용광로 튜브 재질 | 가열 요소 |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| 쌍 |  |  |  |  |  |  |
| CV-14ST-40/300 | 40x300mm | 4 kW | 1400℃ | S형 | 알루미나 튜브 | SiC 히터 |
| CV-14ST-60/300 | 60x300mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-80/300 | 80x300mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-100/300 | 100x300mm | 6 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-120/300 | 120x300mm | 6 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-40/450 | 40x450mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-60/450 | 60x450mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-80/450 | 80x450mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-100/450 | 100x450mm | 6 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-120/450 | 120x450mm | 6 kW |  |  |  |  |

## 
최대 1600℃까지 지원되는 실험실용 CVD 용광로

| 모델 | 직경* 가열 | 출력 | 최대 작동 온도 | 온도 센서 | 용광로 튜브 재질 | 가열 요소 |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| 구역 | 커플 |  |  |  |  |  |
| CV-16MT-40/300 | 40x300mm | 4 kW | 1600℃ | B형 | 알루미나 튜브 | MoSi2 히터 |
| CV-16MT-60/300 | 60x300mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-80/300 | 80x300mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-100/300 | 100x300mm | 6 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-120/300 | 120x300mm | 6 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-40/450 | 40x450mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-60/450 | 60x450mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-80/450 | 80x450mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-100/450 | 100x450mm | 7 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-120/450 | 120x450mm | 7 kW |  |  |  |  |

## CVSIC 진공 실험실용 CVD 튜브 퍼니스 액세서리

### 표준 액세서리

- 튜브 플러그: 4개

- 퍼니스 튜브: 1개

- 진공 펌프: 1대

- 진공 밀봉 플랜지: 2세트

- 진공 게이지: 1대

- 가스 혼합 탱크: 1대

- 유량계: 1대

### 선택 사양

- 진공 시스템: 로터리 베인 펌프, 확산 펌프, 분자 펌프

- 플랜지 액세서리: 퀵 릴리스 플랜지, 티 플랜지

- 제어 시스템: 7인치 HD 터치스크린

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