# 진공관로

진공관로는 고온 열처리 및 분위기 제어를 위해 설계된 고급 장치입니다. 금속 가공, 리튬 배터리 재료, 세라믹, 분말 야금 및 연구 실험에 널리 사용됩니다.

최대 온도가 1600°C인 고순도 세라믹 섬유로 챔버에 HRE 몰리브덴 저항선, **[탄화규소 봉](https://cvsicelement.com/silicon-carbide-heating-elements/)** 또는 **[MoSi2 가열 요소](https://cvsicelement.com/mosi2-heating-elements/)**를 장착한 것이 특징입니다. 고진공/저진공(7×10-⁴Pa, 분자 펌프) 및 불활성 대기(N₂, CO₂, Ar)를 지원합니다. 퍼니스 튜브는 고순도 석영(1200°C) 또는 알루미나(1400°C, 1600°C)로 제공되며 304 스테인리스 스틸 이중층 밀폐형 플랜지와 결합하여 효율적인 가열과 순수한 분위기를 보장합니다.

이 퍼니스 모델은 30세그먼트 프로그래밍이 가능한 지능형 제어 시스템과 이중층 공냉식 구조로 소결, 브레이징, 화학기상증착(CVD) 및 열처리 공정을 지원합니다. 새로운 다중 온도 영역 설계(이중 온도 영역, 삼중 온도 영역, 오온도 영역)가 특징이며 각 온도 영역은 독립적인 온도 제어가 가능하여 탄소 나노 튜브, 실리콘 나노 와이어 및 복잡한 공정의 준비에 적합합니다. 대학, 연구 기관 및 산업체의 실험실 연구 및 소규모 생산에 이상적입니다.

## 1200°C 진공 튜브 용광로

| 모델 | 퍼니스 튜브 직경 × 가열 영역 길이(mm) | 전력(kW) | 최대 작동 온도(°C) | 열전대 유형 | 퍼니스 튜브 재질 | 가열 요소 |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| CV-12NT-40/300 | 40 × 300 | 3 | 1100 | K-타입 | 석영 튜브 | 몰리브덴 함유 저항선 |
CV-12NT-60/300 | 60 × 300 | 3 | | | | | | |
CV-12NT-80/300 | 80 × 300 | 5 | | | | | | |
CV-12NT-100/300 | 100 × 300 | 5 | | | | | | |
CV-12NT-120/300 | 120 × 300 | 6 | | | | | |
CV-12NT-40/450 | 40 × 450 | 3 | | | | | |
CV-12NT-60/450 | 60 × 450 | 3 | | | | | |
CV-12NT-80/450 | 80 × 450 | 5 | | | | | |
CV-12NT-100/450 | 100 × 450 | 5 | | | | | |
CV-12NT-120/450 | 120 × 450 | 6 | | | | | |

## 1400°C 진공관 용광로

| 모델 | 퍼니스 튜브 직경 × 가열 영역 길이 (mm) | 전력 (kW) | 최대 작동 온도 (°C) | 열전대 유형 | 퍼니스 튜브 재질 | 발열체 |

| CV-14ST-40/300 | 40 × 300 | 4 | 1300 | S형 | 커런덤 튜브 | 실리콘 카바이드 소자 |
CV-14ST-60/300 | 60 × 300 | 4 | | | | | | |
| CV-14ST-80/300 | 80 × 300 | 4 | | | | | |
CV-14ST-100/300 | 100 × 300 | 6 | | | | | | |
CV-14ST-120/300 | 120 × 300 | 6 | | | | | |
CV-14ST-40/450 | 40 × 450 | 4 | | | | | |
| CV-14ST-60/450 | 60 × 450 | 4 | | | | |
| CV-14ST-80/450 | 80 × 450 | 4 | | | | |
| CV-14ST-100/450 | 100 × 450 | 6 | | | | |
CV-14ST-120/450 | 120 × 450 | 6 | | | | | |

## 1600°C 진공관 용광로

| 모델 | 퍼니스 튜브 직경 × 가열 영역 길이 (mm) | 전력 (kW) | 최대 작동 온도 (°C) | 열전대 유형 | 퍼니스 튜브 재질 | 발열체 |

| CV-16MT-40/300 | 40 × 300 | 4 | 1600 | B형 | 커런덤 튜브 | 몰리브덴 디실리사이드 로드 |
CV-16MT-60/300 | 60 × 300 | 4 | | | | | | |
CV-16MT-80/300 | 80 × 300 | 4 | | | | | |
CV-16MT-100/300 | 100 × 300 | 6 | | | | | |
CV-16MT-120/300 | 120 × 300 | 6 | | | | | |
CV-16MT-40/450 | 40 × 450 | 5 | | | | | |
CV-16MT-60/450 | 60 × 450 | 5 | | | | | |
CV-16MT-80/450 | 80 × 450 | 5 | | | | | |
CV-16MT-100/450 | 100 × 450 | 7 | | | | | |
CV-16MT-120/450 | 120 × 450 | 7 | | | | | |

## 듀얼존 진공관로

| 모델 | 퍼니스 튜브 직경 × 가열 영역 길이 (mm) | 전력 (kW) | 최대 작동 온도 (°C) | 구역 | 열전대 유형 | 퍼니스 튜브 재질 | 가열 요소 |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| CV-12NT-40/220-2 | 40 × 220 × 220 | 5 | 1200 | 2 | K형 | 석영 튜브 | 몰리브덴 함유 저항선 |
CV-12NT-60/220-2 | 60 × 220 × 220 | 5 | | | | | | | |
CV-12NT-80/220-2 | 80 × 220 × 220 | 6 | | | | | | | |
CV-12NT-100/300-2 | 100 × 300 × 300 | 12 | | | | | | |
CV-12NT-120/300-2 | 120 × 300 × 300 | 12 | | | | | | |
| CV-14ST-40/220-2 | 40 × 220 × 220 | 5 | 1400 | S형 | 커런덤 튜브 | 실리콘 카바이드 로드 | |
CV-14ST-60/220-2 | 60 × 220 × 220 | 5 | | | | | | | |
CV-14ST-80/220-2 | 80 × 220 × 220 | 6 | | | | | | | |
CV-14ST-100/300-2 | 100 × 300 × 300 | 12 | | | | | | |
CV-14ST-120/300-2 | 120 × 300 × 300 | 12 | | | | | | |
| CV-16MT-40/220-2 | 40 × 220 × 220 | 6 | 1600 | B형 | 몰리브덴 디실리사이드 봉 | | |
CV-16MT-60/220-2 | 60 × 220 × 220 | 6 | | | | | | | |
CV-16MT-80/220-2 | 80 × 220 × 220 | 6 | | | | | | | |
CV-16MT-100/300-2 | 100 × 300 × 300 | 12 | | | | | | | |
CV-16MT-120/300-2 | 120 × 300 × 300 | 12 | | | || ||

**참고: **퍼니스 튜브 크기, 전력, 진공도, 온도 영역 수, 대기 시스템은 특정 고객 요구 사항을 충족하도록 맞춤화할 수 있습니다. 자세한 기술 사양은 문의해 주세요.

## CVSIC 진공관로 특징

첨단 기술과 사용자 중심 설계를 갖춘 진공관로는 다음과 같은 핵심 이점을 제공합니다:

- **넓은 온도 범위: 1200°C, 1400°C, 1600°C(작동 온도 1100°C, 1300°C, 1600°C)를 지원하여 다양한 열처리 요구 사항을 충족합니다.

- **높은 진공 성능: 분자 펌프가 장착되어 7×10-⁴ Pa의 최종 진공과 -0.1 MPa의 최대 진공을 달성하여 순수한 열처리 환경을 보장합니다.

- **정확한 분위기 제어:** 가스 누출을 방지하는 304 스테인리스 스틸 이중 밀봉 플랜지로 불활성 분위기(N₂, CO₂, Ar)를 지원하여 소결 결과를 최적화합니다.

- **유연한 용광로 튜브 선택:** 고순도 석영(1200°C) 또는 고순도 알루미나(1400°C, 1600°C), 고온 및 부식에 강하여 사용 수명이 연장됩니다.

- 다중 구역 온도 제어:** 듀얼 구역, 트리플 구역, 5구역 독립 온도 제어를 지원하여 CVD 및 나노 재료 준비와 같은 복잡한 공정을 충족합니다.

- 지능형 온도 제어: ±1°C의 온도 정확도와 20°C/분 이하의 가열 속도로 고정밀 공정 요건을 충족하는 30-세그먼트 프로그래밍 가능 PID 제어.

- **안전 보호: 과열 및 누출 자동 전원 차단 보호, 이중층 공랭식 구조로 표면 온도를 50°C 이하로 유지하여 작동 안전을 보장합니다.

- **내구성있는 디자인 :** 양쪽 끝의 조정 가능한 플랜지지지 구조는 퍼니스 튜브의 스트레스를 줄이고 서비스 수명을 연장합니다.

- **표준 액세서리: 튜브 플러그, 열전대, 퍼니스 튜브, 진공 펌프, 진공 플랜지, 진공 압력 게이지 등이 포함되어 있어 작동 프로세스를 간소화합니다.

## CVSIC 진공관로 애플리케이션

진공관로는 다음 산업 및 공정에서 널리 사용됩니다:

- 리튬 이온 배터리 재료: **음극 및 양극 재료의 소결 및 화학 기상 증착.

- 세라믹 산업: **특수, 전자, 기능성 세라믹의 소결 및 열처리.

- 분말 야금:** 금속 분말 및 합금 재료의 고온 소결 및 열처리.

- **연구 및 실험실 :** 대학 및 기관에서 신소재(탄소 나노 튜브, 실리콘 나노 와이어, 복합 재료 등)의 열처리 실험에 사용합니다.

- **증착:** 화학 기상 증착(CVD) 및 박막 증착 공정.

- 브레이징:** 고정밀 금속 및 세라믹 부품의 브레이징.

이 퍼니스 유형은 고진공, 정밀한 온도 제어 및 다중 온도 영역 공정이 필요한 고객에게 효율적인 솔루션을 제공하며, 특히 실험실 연구 및 소규모 생산에 적합합니다.

## 맞춤형 서비스

CVSIC는 고객의 생산 및 R&D 요구사항과 원활하게 통합할 수 있도록 포괄적인 맞춤형 서비스를 제공합니다:

- 퍼니스 튜브 치수 및 재료:** 고순도 석영 또는 알루미늄 산화물 재료를 지원하는 퍼니스 튜브 직경(40-120mm) 및 가열 영역 길이(220-450mm)를 맞춤화합니다.

- 온도 구성:** 특정 공정에 맞게 1200°C, 1400°C 또는 1600°C의 맞춤형 온도 범위를 지원합니다.

- 발열체:** HRE 몰리브덴 저항 와이어, 실리콘 카바이드 로드 또는 고순도 몰리브덴 로드 중에서 선택하여 가열 효율을 최적화할 수 있습니다.

- 진공 및 대기 시스템:** 고진공(7×10-⁴ Pa), 저진공 또는 불활성 가스 시스템을 맞춤화하여 플로트/질량 유량계 및 다중 채널 가스 제어를 지원합니다.

- **다중 구역 설계: **복잡한 공정 요구 사항을 충족하기 위해 듀얼 존, 트리플 존 또는 5존 독립 온도 제어를 사용자 지정할 수 있습니다.

- 제어 시스템: **7인치 고화질 터치스크린, 컴퓨터 연결 소프트웨어, 데이터 로깅 제어 프로그램을 통해 자동화 수준을 향상시킬 수 있습니다.

## 옵션 액세서리

- 진공 시스템:** 로터리 베인 기계식, 확산식 또는 분자 펌프.

- **대기 시스템:** 플로트/질량 유량계, 다중 가스 제어.

- 퀵 릴리스/삼방향 플랜지:** 작동 편의성 향상.

- **글로벌 지원:** 장비의 안정적이고 장기적인 운영을 위해 설치 안내, 운영 교육 및 유지보수 서비스를 제공합니다.

글로벌 도매 및 맞춤형 주문을 지원하는 산업에 맞는 맞춤형 진공관로 솔루션에 대해서는 CVSIC에 문의하세요.