Forno tubular CVD #

O forno tubular CVD de vácuo do Laboratório CVSIC foi concebido para deposição química de vapor e tratamento térmico a alta temperatura, destinando-se a laboratórios universitários, instituições de investigação e fabricantes. Com uma câmara de fibra cerâmica de alta pureza, fios ou hastes de resistência robustos e tubos de quartzo ou alumina de alta pureza, atinge temperaturas de até 1600 ℃, mantendo um vácuo elevado e um controlo preciso do fluxo de gás. As flanges em aço inoxidável garantem um ambiente puro e resultados eficientes.

Com um controlo programável de 50 segmentos, arrefecimento a ar de dupla camada e precisão de ±1 °C, este sistema suporta deposição e tratamento térmico avançados. Integra a mistura de gases e o controlo do fluxo, tornando-o ideal para investigação de alta precisão e necessidades de produção de pequeno volume.

## Aplicação do Forno Tubular CVD CVSIC

Descubra novas possibilidades com o forno tubular CVD a vácuo CVSIC para uma vasta gama de aplicações científicas, industriais e de fabrico avançadas:

- Deposição de camadas finas: Deposição química de vapor (CVD) para a preparação de filmes semicondutores, revestimentos e materiais funcionais.

- Preparação de nanomateriais: Fabrico e tratamento térmico de nanotubos de carbono, fios de silício e materiais de camada fina.

- Materiais para baterias de lítio: Processos CVD e sinterização a alta temperatura para materiais de cátodo e ânodo.

- Cerâmica e metalurgia do pó: Utilizado para revestir e tratar cerâmicas e pó metálico a altas temperaturas.

- Investigação científica: Ajuda a criar novos materiais e apoia a investigação básica em escolas e laboratórios.

- Aplicações industriais: Utilizado para a produção em pequenos lotes de filmes e materiais de precisão com métodos CVD.

Características do forno tubular CVD CVSIC ##

- Ampla gama de temperaturas: Suporta 1200 ℃, 1400 ℃, 1600 ℃ (temperaturas de funcionamento 1100 ℃, 1300 ℃, 1600 ℃) para satisfazer diversos requisitos do processo CVD.

- Desempenho de alto vácuo: O vácuo final de 7×10⁻⁴ Pa e o vácuo máximo de -0,1 MPa mantêm um ambiente de deposição puro.

- Controlo preciso de gás: O tanque de mistura de gás e o medidor de fluxo proporcionam uma regulação precisa de N₂, Ar e multigás.

- Opções flexíveis de tubos do forno: Tubos de quartzo de alta pureza (1200 ℃) ou alumina (1400 ℃, 1600 ℃) oferecem resistência a altas temperaturas e resistência à corrosão.

- Controlo inteligente da temperatura: O controlo PID de 50 segmentos garante uma precisão de ±1 ℃ e uma uniformidade de ±5 ℃.

- Conceção de segurança: corte automático de energia por motivos de segurança; o arrefecimento a ar de dupla camada mantém a superfície abaixo dos 50 ℃.

- Construção duradoura: o design de flange ajustável prolonga a vida útil do tubo e reduz as necessidades de manutenção.

- Aquecimento eficiente: Aquece até 20 ℃/min, otimizando a eficiência experimental.

Serviços de personalização ##

A CVSIC fornece-lhe soluções totalmente personalizadas para garantir um ajuste perfeito aos requisitos exclusivos do seu processo CVD, assegurando que todas as especificações sejam cumpridas com precisão:

- Personalização do tubo do forno: Selecione diâmetros de tubo de 40 mm a 120 mm e comprimentos da zona de aquecimento de 300 mm, 350 mm, 400 mm ou 450 mm. Escolha entre materiais de quartzo de alta pureza ou óxido de alumínio, de acordo com os seus requisitos de investigação.

- Configuração da temperatura: Intervalos de temperatura personalizáveis de 1200 ℃, 1400 ℃ ou 1600 ℃ para requisitos de processo específicos.

- Elementos de aquecimento: As opções incluem fio de resistência HRE contendo molibdénio, **[barras de carboneto de silício](https://cvsicelement.com/silicon-carbide-heating-elements/)**, ou **[barras de aquecimento MoSi2](https://cvsicelement.com/mosi2-heating-elements/)**. Selecione o elemento de aquecimento que melhor se adapta aos seus requisitos de temperatura e processo.

- Sistema de vácuo e gás: Escolha entre configurações de alto vácuo (7×10⁻⁴ Pa), baixo vácuo ou um sistema de controlo multigás com medidores de fluxo para tipos específicos de gás.

- Sistema de controlo: Selecione um ecrã tátil HD de 7 polegadas, software de conectividade com PC para operação remota ou funcionalidade de registo de dados, de acordo com as suas preferências de monitorização.

- Apoio global: Fornece orientação de instalação, formação operacional e serviços de manutenção para garantir um funcionamento estável a longo prazo.

## 
Especificações do Forno CVD

| TEMPERATURA MÁXIMA: | 1200 ℃ / 1400 ℃ / 1600 ℃ | VÁCUO NORMAL: | -0,1 MPa |
| --- | --- | --- | --- |
| VÁCUO MÁXIMO: | Bomba molecular de configuração, vácuo 7×10⁻⁴ Pa (opcional) | FLANGE: | Flange de vedação em aço inoxidável 304 |
| PROTEÇÃO CONTRA SOBREAQUECIMENTO: | Desligamento automático quando a temperatura excede o valor permitido definido | PROTEÇÃO DE SEGURANÇA: | Desligamento automático em caso de fuga no corpo do forno |
| ESTRUTURA DO FORNO: | Aço de camada dupla com ventilador de arrefecimento duplo, temperatura da superfície inferior a 50 ℃ | TAXA MÁXIMA DE AQUECIMENTO: | 20 °C/min |
| PRECISÃO DE TEMPERATURA: | ±1 ℃ | UNIFORIDADE DE TEMPERATURA: | ±5 ℃ |
| CONTROLO DE TEMPERATURA: | 50 segmentos programáveis e controlo automático | APLICAÇÃO: | Testes CVD |

## 
Forno CVD de laboratório até 1200 ℃

| Modelo | Diâmetro*Zona de aquecimento | Potência | Temperatura máxima de funcionamento | Termômetro | Material do tubo do forno | Elementos de aquecimento |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| par |  |  |  |  |  |  |
| CV-12NT-40/300 | 40x300 mm | 3 kW | 1200 ℃ | Tipo K | Tubo de quartzo | Fio de Fe-Cr-Al-Mo |
| CV-12NT-60/300 | 60x300 mm | 3 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-80/300 | 80x300 mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-100/300 | 100x300 mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-120/300 | 120x300 mm | 6 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-40/450 | 40x450 mm | 3 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-60/450 | 60x450 mm | 3 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-80/450 | 80x450 mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-100/450 | 100 x 450 mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-120/450 | 120x450 mm | 6 kW |  |  |  |  |

## 
Forno CVD de laboratório até 1400 ℃

| Modelo | Diâmetro*Zona de aquecimento | Potência | Temperatura máxima de funcionamento | Termostato | Material do tubo do forno | Elementos de aquecimento |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| par |  |  |  |  |  |  |
| CV-14ST-40/300 | 40x300 mm | 4 kW | 1400 ℃ | Tipo S | Tubo de alumina | Aquecedor de SiC |
| CV-14ST-60/300 | 60x300 mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-80/300 | 80x300 mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-100/300 | 100x300 mm | 6 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-120/300 | 120x300 mm | 6 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-40/450 | 40x450 mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-60/450 | 60x450 mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-80/450 | 80x450 mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-100/450 | 100x450 mm | 6 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-120/450 | 120x450 mm | 6 kW |  |  |  |  |

## 
Forno CVD de laboratório até 1600 ℃

| Modelo | Diâmetro* Aquecimento | Potência | Temperatura máxima de funcionamento | Termostato | Material do tubo do forno | Elementos de aquecimento |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| zona | par |  |  |  |  |  |
| CV-16MT-40/300 | 40x300 mm | 4 kW | 1600 ℃ | Tipo B | Tubo de alumina | Aquecedor MoSi2 |
| CV-16MT-60/300 | 60x300 mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-80/300 | 80x300 mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-100/300 | 100x300 mm | 6 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-120/300 | 120x300 mm | 6 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-40/450 | 40x450 mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-60/450 | 60x450 mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-80/450 | 80x450 mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-100/450 | 100 x 450 mm | 7 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-120/450 | 120x450 mm | 7 kW |  |  |  |  |

## Acessórios para Forno de Tubo CVD de Laboratório a Vácuo CVSIC

### Acessórios Padrão

- Tampões para Tubo: 4 unidades

- Tubo do Forno: 1 unidade

- Bomba de vácuo: 1 unidade

- Flanges de vedação a vácuo: 2 conjuntos

- Manómetro de vácuo: 1 unidade

- Tanque de mistura de gases: 1 unidade

-  Medidor de caudal: 1 unidade

### Acessórios opcionais

- Sistema de vácuo: Bomba de palhetas rotativas, bomba de difusão, bomba molecular

- Acessórios para flanges: Flanges de libertação rápida, flanges em T

- Sistema de controlo: Ecrã tátil HD de 7 polegadas

Descubra o potencial dos fornos tubulares CVD da CVSIC para as necessidades de deposição de vapor mais exigentes! Contacte a nossa equipa hoje mesmo para receber um orçamento imediato, aceder a manuais técnicos detalhados ou solicitar assistência personalizada. Escolha a CVSIC e beneficie de conhecimentos especializados personalizados — os nossos especialistas garantirão que o seu equipamento é a escolha perfeita para os requisitos do seu laboratório ou produção.