Трубчатая печь для CVD #

Трубчатая печь для CVD вакуумной лаборатории CVSIC предназначена для химического осаждения из паровой фазы и высокотемпературной термообработки и используется в университетских лабораториях, научно-исследовательских институтах и на производственных предприятиях. Благодаря камере из высокочистого керамического волокна, прочным резистивным проводам или стержням и трубкам из высокочистого кварца или оксида алюминия она достигает температур до 1600 °C, поддерживая при этом высокий вакуум и точное регулирование расхода газа. Фланцы из нержавеющей стали обеспечивают чистую среду и эффективные результаты.

Благодаря 50-сегментному программируемому управлению, двухслойному воздушному охлаждению и точности ±1 °C эта система поддерживает передовые технологии осаждения и термообработки. Она объединяет в себе функции смешивания газов и регулирования расхода, что делает ее идеальной для высокоточных исследований и мелкосерийного производства.

## CVSIC CVD трубчатая печь Применение

Откройте новые возможности с помощью вакуумной трубчатой печи CVSIC CVD для широкого спектра передовых научных, промышленных и производственных применений:

- Нанесение тонких пленок: химическое осаждение из паровой фазы (CVD) для получения полупроводниковых пленок, покрытий и функциональных материалов.

- Получение наноматериалов: изготовление и термообработка углеродных нанотрубок, кремниевых проволок и тонкослойных материалов.

- Материалы для литиевых батарей: процессы CVD и высокотемпературное спекание для катодных и анодных материалов.

- Керамика и порошковая металлургия: используется для нанесения покрытий и обработки керамики и металлического порошка при высоких температурах.

- Научные исследования: способствует созданию новых материалов и поддерживает фундаментальные исследования в учебных заведениях и лабораториях.

- Промышленное применение: используется для мелкосерийного производства прецизионных пленок и материалов методами CVD.

Особенности трубчатой печи CVSIC CVD ##

- Широкий диапазон температур: поддерживает 1200 ℃, 1400 ℃, 1600 ℃ (рабочие температуры 1100 ℃, 1300 ℃, 1600 ℃) для удовлетворения разнообразных требований процессов CVD.

- Высокие вакуумные характеристики: конечный вакуум 7×10⁻⁴ Па и максимальный вакуум -0,1 МПа обеспечивают чистую среду осаждения.

- Точное управление газами: резервуар для смешивания газов и расходомер обеспечивают точное регулирование N₂, Ar и смесей газов.

- Гибкие варианты труб печи: трубы из высокочистого кварца (1200 °C) или оксида алюминия (1400 °C, 1600 °C) обладают высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью.

- Интеллектуальное управление температурой: 50-сегментное ПИД-регулирование обеспечивает точность ±1 °C и равномерность ±5 °C.

- Безопасная конструкция: автоматическое отключение питания для обеспечения безопасности; двухслойное воздушное охлаждение поддерживает температуру поверхности ниже 50 °C.

- Прочная конструкция: конструкция с регулируемым фланцем продлевает срок службы труб и снижает потребность в техническом обслуживании.

- Эффективный нагрев: нагрев до 20 °C/мин, что оптимизирует эффективность экспериментов.

## Услуги по индивидуальной настройке

CVSIC предоставляет вам полностью индивидуальные решения, гарантирующие идеальное соответствие вашим уникальным требованиям к процессу CVD, обеспечивая точное соблюдение всех технических характеристик:

- Индивидуальная настройка труб печи: выберите диаметр труб от 40 мм до 120 мм и длину зоны нагрева 300 мм, 350 мм, 400 мм или 450 мм. Выберите материалы из высокочистого кварца или оксида алюминия в соответствии с вашими исследовательскими требованиями.

- Настройка температуры: настраиваемые диапазоны температур 1200 ℃, 1400 ℃ или 1600 ℃ для конкретных технологических требований.

- Нагревательные элементы: варианты включают молибденсодержащую резистивную проволоку HRE, **[карбидкремниевые стержни](https://cvsicelement.com/silicon-carbide-heating-elements/)**, или **[нагревательные стержни MoSi2](https://cvsicelement.com/mosi2-heating-elements/)**. Выберите нагревательный элемент, который наилучшим образом соответствует вашим требованиям к температуре и процессу.

- Вакуумная и газовая система: Выберите между конфигурациями высокого вакуума (7×10⁻⁴ Па), низкого вакуума или многогазовой системой управления с расходомерами для конкретных типов газов.

- Система управления: выберите 7-дюймовый сенсорный экран высокой четкости, программное обеспечение для подключения к ПК для удаленного управления или функцию регистрации данных в соответствии с вашими предпочтениями по мониторингу.

- Глобальная поддержка: предоставляются инструкции по установке, обучение по эксплуатации и услуги по техническому обслуживанию для обеспечения долгосрочной стабильной работы.

## 
Технические характеристики печи CVD

| МАКСИМАЛЬНАЯ ТЕМПЕРАТУРА: | 1200 ℃ / 1400 ℃ / 1600 ℃ | НОРМАЛЬНЫЙ ВАКУУМ: | -0,1 МПа |
| --- | --- | --- | --- |
| МАКСИМАЛЬНЫЙ ВАКУУМ: | Молекулярный насос, вакуум 7×10⁻⁴ Па (опция) | ФЛАНЕЦ: | Уплотнительный фланец из нержавеющей стали 304 |
| ЗАЩИТА ОТ ПЕРЕГРЕВА: | Автоматическое отключение при превышении допустимого заданного значения температуры | ЗАЩИТА БЕЗОПАСНОСТИ: | Автоматическое отключение при утечке в корпусе печи |
| КОНСТРУКЦИЯ ПЕЧИ: | Двухслойная сталь с двойным охлаждающим вентилятором, температура поверхности ниже 50 ℃ | МАКСИМАЛЬНАЯ СКОРОСТЬ НАГРЕВА: | 20 °C/мин |
| ТОЧНОСТЬ ТЕМПЕРАТУРЫ: | ±1 ℃ | РАВНОМЕРНОСТЬ ТЕМПЕРАТУРЫ: | ±5 ℃ |
| РЕГУЛИРОВКА ТЕМПЕРАТУРЫ: | 50 сегментов, программируемое и автоматическое управление | ПРИМЕНЕНИЕ: | Испытания CVD |

## 
Лабораторная печь CVD до 1200 ℃

| Модель | Диаметр*Зона нагрева | Мощность | Макс. рабочая температура | Термопара | Материал трубы печи | Нагревательные элементы |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| термопара |  |  |  |  |  |  |
| CV-12NT-40/300 | 40x300 мм | 3 кВт | 1200 °C | тип K | Кварцевая труба | Проволока Fe-Cr-Al-Mo |
| CV-12NT-60/300 | 60x300 мм | 3 кВт |  |  |  |  |
| CV-12NT-80/300 | 80x300 мм | 5 кВт |  |  |  |  |
| CV-12NT-100/300 | 100x300 мм | 5 кВт |  |  |  |  |
| CV-12NT-120/300 | 120x300 мм | 6 кВт |  |  |  |  |
| CV-12NT-40/450 | 40x450 мм | 3 кВт |  |  |  |  |
| CV-12NT-60/450 | 60x450 мм | 3 кВт |  |  |  |  |
| CV-12NT-80/450 | 80x450 мм | 5 кВт |  |  |  |  |
| CV-12NT-100/450 | 100x450 мм | 5 кВт |  |  |  |  |
| CV-12NT-120/450 | 120x450 мм | 6 кВт |  |  |  |  |

## 
Лабораторная печь для химического осаждения из паровой фазы (CVD) до 1400 ℃

| Модель | Диаметр*Зона нагрева | Мощность | Максимальная рабочая температура | Терморегулятор | Материал трубы печи | Нагревательные элементы |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| пара |  |  |  |  |  |  |
| CV-14ST-40/300 | 40x300 мм | 4 кВт | 1400 ℃ | тип S | трубка из оксида алюминия | нагреватель из SiC |
| CV-14ST-60/300 | 60x300 мм | 4 кВт |  |  |  |  |
| CV-14ST-80/300 | 80x300 мм | 4 кВт |  |  |  |  |
| CV-14ST-100/300 | 100x300 мм | 6 кВт |  |  |  |  |
| CV-14ST-120/300 | 120x300 мм | 6 кВт |  |  |  |  |
| CV-14ST-40/450 | 40x450 мм | 4 кВт |  |  |  |  |
| CV-14ST-60/450 | 60x450 мм | 4 кВт |  |  |  |  |
| CV-14ST-80/450 | 80x450 мм | 4 кВт |  |  |  |  |
| CV-14ST-100/450 | 100x450 мм | 6 кВт |  |  |  |  |
| CV-14ST-120/450 | 120x450 мм | 6 кВт |  |  |  |  |

## 
Лабораторная печь для химического осаждения из паровой фазы (CVD) до 1600 ℃

| Модель | Диаметр* Нагрев | Мощность | Макс. рабочая температура | Терморегулятор | Материал трубы печи | Нагревательные элементы |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| зона | пара |  |  |  |  |  |
| CV-16MT-40/300 | 40x300 мм | 4 кВт | 1600 ℃ | тип B | трубка из оксида алюминия | нагреватель MoSi2 |
| CV-16MT-60/300 | 60x300 мм | 4 кВт |  |  |  |  |
| CV-16MT-80/300 | 80x300 мм | 4 кВт |  |  |  |  |
| CV-16MT-100/300 | 100x300 мм | 6 кВт |  |  |  |  |
| CV-16MT-120/300 | 120x300 мм | 6 кВт |  |  |  |  |
| CV-16MT-40/450 | 40x450 мм | 5 кВт |  |  |  |  |
| CV-16MT-60/450 | 60x450 мм | 5 кВт |  |  |  |  |
| CV-16MT-80/450 | 80x450 мм | 5 кВт |  |  |  |  |
| CV-16MT-100/450 | 100x450 мм | 7 кВт |  |  |  |  |
| CV-16MT-120/450 | 120x450 мм | 7 кВт |  |  |  |  |

## CVSIC Принадлежности для лабораторной вакуумной трубчатой печи CVD

### Стандартные принадлежности

- Заглушки для труб: 4 шт.

- Труба печи: 1 шт.

- Вакуумный насос: 1 шт.

- Вакуумные уплотнительные фланцы: 2 комплекта

- Вакуумметр: 1 шт.

- Резервуар для смешивания газов: 1 шт.

-  Расходомер: 1 шт.

### Дополнительные аксессуары

- Вакуумная система: роторно-лопастной насос, диффузионный насос, молекулярный насос

- Фланцевые аксессуары: быстроразъемные фланцы, тройниковые фланцы

- Система управления: 7-дюймовый сенсорный экран HD

Раскройте весь потенциал трубчатых печей CVSIC CVD для самых взыскательных задач по осаждению из паровой фазы! Свяжитесь с нашей командой сегодня, чтобы получить мгновенное ценовое предложение, доступ к подробным техническим руководствам или запросить индивидуальную поддержку. Выберите CVSIC и получите персональную экспертную помощь — наши специалисты обеспечат идеальное соответствие вашего оборудования требованиям вашей лаборатории или производства.