# CVD 管式爐

CVSIC 真空實驗室 CVD 管式爐專為化學氣相沉積及高溫熱處理而設計，適用於大學實驗室、研究機構及製造商。 本設備配備高純度陶瓷纖維腔室、堅固的電熱絲或電熱棒，以及高純度石英或氧化鋁管，可在維持高真空與精確氣流控制的同時，達到最高 1600℃ 的溫度。不鏽鋼法蘭確保了純淨的環境與高效的實驗結果。

配備 50 段可編程控制、雙層風冷系統及 ±1°C 的溫度精準度，本系統可支援先進的沉積與熱處理作業。其整合了氣體混合與流量控制功能，非常適合高精度研究及小批量生產需求。

## CVSIC CVD 管式爐應用

運用 CVSIC 真空 CVD 管式爐，為廣泛的先進科學、工業及製造應用開創新可能：

- 薄膜沉積：運用化學氣相沉積（CVD）製備半導體薄膜、塗層及功能性材料。

- 奈米材料製備：製造並熱處理碳奈米管、矽線及薄層材料。

- 鋰電池材料：透過 CVD 製程與高溫燒結，製備正極及負極材料。

- 陶瓷與粉末冶金：用於高溫下對陶瓷及金屬粉末進行鍍膜與處理。

- 科學研究：協助開發新材料，並支援學校及實驗室的基本研究。

- 工業應用：運用 CVD 方法進行精密薄膜與材料的小批量生產。

## CVSIC CVD 管式爐特點

- 寬廣溫度範圍：支援 1200℃、1400℃、1600℃（工作溫度 1100℃、1300℃、1600℃），以滿足多樣化的 CVD 製程需求。

- 高真空性能：極限真空達 7×10⁻⁴ Pa，最大真空度為 -0.1 MPa，可維持純淨的沉積環境。

- 精準氣體控制：氣體混合槽與流量計可精確調節 N₂、Ar 及多氣體。

- 靈活的爐管選項：高純度石英（1200℃）或氧化鋁（1400℃、1600℃）爐管具備優異的高溫耐受性與抗腐蝕性。

- 智慧型溫度控制：50段PID控制確保±1℃的精度與±5℃的均勻度。

- 安全設計：自動斷電保護；雙層風冷系統可將表面溫度維持在 50℃ 以下。

- 堅固結構：可調式法蘭設計延長管體使用壽命，並降低維護需求。

- 高效加熱：加熱速率可達 20℃/min，優化實驗效率。

## 客製化服務

CVSIC 為您提供全面客製化的解決方案，以確保完美契合您獨特的 CVD 製程需求，並精準滿足每一項規格要求：

- 爐管客製化：可選擇 40mm 至 120mm 的管徑，以及 300mm、350mm、400mm 或 450mm 的加熱區長度。根據您的研究需求，可選用高純度石英或氧化鋁材料。

- 溫度配置：可根據特定製程需求，自訂 1200℃、1400℃ 或 1600℃ 的溫度範圍。

- 加熱元件：選項包含 HRE 含鉬電阻絲、**[碳化矽棒](https://cvsicelement.com/silicon-carbide-heating-elements/)**， 或 **[MoSi₂ 加熱棒](https://cvsicelement.com/mosi2-heating-elements/)**。請選擇最符合您的溫度與製程需求的加熱元件。

- 真空與氣體系統：可選擇高真空（7×10⁻⁴ Pa）、低真空配置，或配備各類氣體流量計的多氣體控制系統。

- 控制系統：可選擇 7 吋高畫質觸控螢幕、支援遠端操作的電腦連接軟體，或資料記錄功能，以滿足您的監控需求。

- 全球支援：提供安裝指導、操作培訓及維護服務，確保設備長期穩定運行。

## 
CVD 爐規格

| 最高溫度： | 1200℃ / 1400℃ / 1600℃ | 標準真空度： | -0.1MPa |
| --- | --- | --- | --- |
| 最高真空度： | 配置分子泵，真空度 7×10⁻⁴ Pa（選配） | 法蘭： | 304 不鏽鋼密封法蘭 |
| 過溫保護： | 溫度超過設定值時自動斷電 | 安全保護： | 爐體洩漏時自動斷電 |
| 爐體結構： | 雙層鋼材雙冷卻風扇，表面溫度低於 50℃ | 最大升溫速率： | 20°C/min |
| 溫度精度： | ±1℃ | 溫度均勻度： | ±5℃ |
| 溫度控制： | 50段可程式化與自動控制 | 應用： | CVD測試 |

## 
實驗室CVD爐，最高1200℃

| 型號 | 直徑*加熱區 | 功率 | 最高工作溫度 | 溫度感測器 | 爐管材質 | 加熱元件 |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| 熱電偶 |  |  |  |  |  |  |
| CV-12NT-40/300 | 40x300mm | 3 千瓦 | 1200℃ | K型 | 石英管 | Fe-Cr-Al-Mo線 |
| CV-12NT-60/300 | 60x300mm | 3 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-80/300 | 80x300mm | 5 kW |  |  |  |  |
| CV-12NT-100/300 | 100x300mm | 5 千瓦 |  |  |  |  |
| CV-12NT-120/300 | 120x300mm | 6 千瓦 |  |  |  |  |
| CV-12NT-40/450 | 40x450mm | 3 千瓦 |  |  |  |  |
| CV-12NT-60/450 | 60x450mm | 3 千瓦 |  |  |  |  |
| CV-12NT-80/450 | 80x450mm | 5 千瓦 |  |  |  |  |
| CV-12NT-100/450 | 100x450mm | 5 千瓦 |  |  |  |  |
| CV-12NT-120/450 | 120x450mm | 6 千瓦 |  |  |  |  |

## 
實驗室用 CVD 爐，最高溫度 1400℃

| 型號 | 直徑*加熱區 | 功率 | 最高工作溫度 | 溫度感測器 | 爐管材質 | 加熱元件 |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| 型號 |  |  |  |  |  |  |
| CV-14ST-40/300 | 40x300mm | 4 千瓦 | 1400℃ | S型 | 氧化鋁管 | SiC 加熱元件 |
| CV-14ST-60/300 | 60x300mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-80/300 | 80x300mm | 4 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-100/300 | 100x300mm | 6 kW |  |  |  |  |
| CV-14ST-120/300 | 120x300mm | 6 千瓦 |  |  |  |  |
| CV-14ST-40/450 | 40x450mm | 4 千瓦 |  |  |  |  |
| CV-14ST-60/450 | 60x450mm | 4 千瓦 |  |  |  |  |
| CV-14ST-80/450 | 80x450mm | 4 千瓦 |  |  |  |  |
| CV-14ST-100/450 | 100x450mm | 6 千瓦 |  |  |  |  |
| CV-14ST-120/450 | 120x450mm | 6 千瓦 |  |  |  |  |

## 
實驗室用 CVD 爐，最高溫度 1600℃

| 型號 | 直徑* 加熱區 | 功率 | 最高工作溫度 | 溫度感測器 | 爐管材質 | 加熱元件 |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| 區 | 熱電偶 |  |  |  |  |  |
| CV-16MT-40/300 | 40x300mm | 4 kW | 1600℃ | B型 | 氧化鋁管 | MoSi2 加熱元件 |
| CV-16MT-60/300 | 60x300mm | 4 千瓦 |  |  |  |  |
| CV-16MT-80/300 | 80x300mm | 4 千瓦 |  |  |  |  |
| CV-16MT-100/300 | 100x300mm | 6 kW |  |  |  |  |
| CV-16MT-120/300 | 120x300mm | 6 千瓦 |  |  |  |  |
| CV-16MT-40/450 | 40x450mm | 5 千瓦 |  |  |  |  |
| CV-16MT-60/450 | 60x450mm | 5 千瓦 |  |  |  |  |
| CV-16MT-80/450 | 80x450mm | 5 千瓦 |  |  |  |  |
| CV-16MT-100/450 | 100x450mm | 7 千瓦 |  |  |  |  |
| CV-16MT-120/450 | 120x450mm | 7 kW |  |  |  |  |

## CVSIC 真空實驗室 CVD 管式爐配件

### 標準配件

- 管塞：4 個

- 爐管：1 根

- 真空泵：1 台

- 真空密封法蘭：2 組

- 真空錶：1 台

- 氣體混合罐：1 台

-  流量計：1 台

### 選配配件

- 真空系統：旋片泵、擴散泵、分子泵

- 法蘭配件：快拆法蘭、三通法蘭

- 控制系統：7 吋高畫質觸控螢幕

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