Трубчатая печь CVD

Вакуумная лабораторная CVD-печь CVSIC предназначена для химического осаждения из паровой фазы и высокотемпературной термообработки, служит университетским лабораториям, исследовательским институтам и производителям. Благодаря камере из высокочистого керамического волокна, прочным проволокам или стержням сопротивления и трубкам из высокочистого кварца или глинозема, печь достигает температуры до 1600℃ при сохранении высокого вакуума и точном контроле потока газа. Фланцы из нержавеющей стали обеспечивают чистую среду и эффективные результаты.

Эта система с 50-сегментным программируемым управлением, двухслойным воздушным охлаждением и точностью ±1°C поддерживает передовые технологии осаждения и термообработки. В ней интегрированы функции смешивания газов и управления потоком, что делает ее идеальной для высокоточных исследований и мелкосерийного производства.

Применение трубчатой печи CVSIC CVD

Раскройте новые возможности с помощью вакуумной CVD-печи CVSIC для широкого спектра передовых научных, промышленных и производственных задач:

• Осаждение тонких пленок: Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) для получения полупроводниковых пленок, покрытий и функциональных материалов.
• Подготовка наноматериалов: изготовление и термообработка углеродных нанотрубок, кремниевых проволок и тонкослойных материалов.
• Материалы для литиевых батарей: CVD-процессы и высокотемпературное спекание для катодных и анодных материалов.
• Керамика и порошковая металлургия: Используется для покрытия и обработки керамики и металлических порошков при высокой температуре.
• Научные исследования: Помогает создавать новые материалы и поддерживает фундаментальные исследования в школах и лабораториях.
• Промышленное применение: Используется для мелкосерийного производства точных пленок и материалов методами CVD.

Особенности трубчатой печи CVSIC CVD

• Широкий температурный диапазон: Поддерживает температуры 1200℃, 1400℃, 1600℃ (рабочие температуры 1100℃, 1300℃, 1600℃) для удовлетворения различных требований к процессу CVD.
• Высокие вакуумные характеристики: Предельный вакуум 7×10-⁴ Па и максимальный вакуум -0,1 МПа обеспечивают чистую среду осаждения.
• Точный контроль газа: Резервуар для смешивания газов и расходомер обеспечивают точное регулирование N₂, Ar и нескольких газов.
• Гибкие варианты печных труб: Высокочистые кварцевые (1200℃) или глиноземные (1400℃, 1600℃) трубки обеспечивают высокую термостойкость и устойчивость к коррозии.
• Интеллектуальный контроль температуры: 50-сегментный ПИД-регулятор обеспечивает точность ±1℃ и равномерность ±5℃.
• Безопасный дизайн: Автоматическое отключение питания для обеспечения безопасности; двухслойное воздушное охлаждение поддерживает температуру поверхности ниже 50℃.
• Прочная конструкция: Регулируемая конструкция фланца продлевает срок службы трубки и снижает потребность в обслуживании.
• Эффективный нагрев: Нагрев до 20℃/мин, оптимизирующий эффективность эксперимента.

Услуги по настройке

CVSIC предлагает полностью индивидуальные решения, гарантирующие беспрепятственное соответствие вашим уникальным требованиям к процессу CVD, обеспечивая точное соблюдение всех спецификаций:

• Индивидуальная настройка печных труб: Выберите диаметр трубки от 40 мм до 120 мм и длину зоны нагрева 300 мм, 350 мм, 400 мм или 450 мм. Выберите материал из высокочистого кварца или оксида алюминия в соответствии с вашими исследовательскими требованиями.
• Конфигурация температуры: Настраиваемые температурные диапазоны 1200℃, 1400℃ или 1600℃ для конкретных технологических требований.
• Нагревательные элементы: Опции включают молибденосодержащую проволоку сопротивления HRE, стержни из карбида кремния, или MoSi2 Нагревательные стержни. Выберите нагревательный элемент, который наилучшим образом соответствует вашим требованиям к температуре и процессу.
• Вакуумные и газовые системы: Выбирайте конфигурации с высоким вакуумом (7×10-⁴ Па), низким вакуумом или систему управления несколькими газами, оснащенную расходомерами для определенных типов газов.
• Система управления: Выберите 7-дюймовый сенсорный HD-экран, программное обеспечение для подключения к ПК для удаленного управления или функцию регистрации данных в соответствии с вашими предпочтениями в области мониторинга.
• Глобальная поддержка: Обеспечивает руководство по установке, обучение эксплуатации и техническое обслуживание для обеспечения долгосрочной стабильной работы.

Аксессуары для вакуумных лабораторных CVD-печей CVSIC

Стандартные аксессуары

• Заглушки для трубок: 4 шт.
• Печная труба: 1 шт
• Вакуумный насос: 1 шт.
• Вакуумные уплотнительные фланцы: 2 комплекта
• Вакуумный манометр: 1 шт.
• Резервуар для смешивания газа: 1 шт.
• Расходомер: 1 единица

Дополнительные аксессуары

• Вакуумная система: Пластинчато-роторный насос, диффузионный насос, молекулярный насос
• Аксессуары для фланцев: Быстросъемные фланцы, тройниковые фланцы
• Система управления: 7-дюймовый сенсорный экран HD

Раскройте мощь трубчатых печей CVSIC CVD для самых сложных задач осаждения из паровой фазы! Свяжитесь с нашей командой сегодня, чтобы получить мгновенное предложение, доступ к подробным техническим руководствам или запросить индивидуальную поддержку. Выбирайте CVSIC и ощутите индивидуальный опыт - наши специалисты обеспечат идеальное соответствие оборудования требованиям вашей лаборатории или производства.