立式管式爐

CVSIC 立式管式爐是專為可控氣氛或高真空製程而設計的高精度加熱系統。工作溫度從 1200°C 到 1600°C，是陶瓷、電池材料和金屬粉末的燒結、氣相沉積、銅銲和熱處理的理想設備。

本系統可搭配高純度石英管 (1200°C) 或氧化鋁管 (1400°C/1600°C)，採用垂直排列設計，可提供精確的溫度均勻性、快速的熱反應以及卓越的安全性。具有空氣冷卻功能的雙層外殼可確保對操作人員的保護。該系統可配置電阻線、SiC 棒或 MoSi2 棒，以適應不同的熱剖面。

CVSIC 立式管式爐的應用

• 先進陶瓷： 結構陶瓷、電子陶瓷和功能陶瓷的高溫燒結。
• 電池材料： 陰極/陽極材料加工、固態電解質燒結和低壓 CVD。
• 粉末冶金： 金屬粉末與複合材料的燒結與脫脂。
• 奈米材料與薄膜： 真空或受控氣流下的 CVD、CNT 生長、奈米線合成。
• 銅焊與熱處理： 適用於研究或小規模生產的精密接合與退火製程。

CVSIC 立式管式爐特點

• 寬溫範圍： 1200°C / 1400°C / 1600°C 機型，可靠的工作溫度最高可達 1500°C。
• 精確溫度控制： PID 可程式控制 (30 至 50 段)，精確度 ±1°C，加熱速率最高可達 ≤20°C/分鐘。
• 高真空能力： 選購的分子泵系統可達到 7×10-⁴ Pa (冷態)、-0.1 MPa 真空密封。
• 優越的氣氛控制： 支援 Ar、N₂、O₂、CO₂，透過雙層 SS 法蘭進行防漏空氣密封。
• 耐用的結構： 高純度石英管或氧化鋁管，配備可調式凸緣支撐，可延長系統使用壽命。
• 強大的安全系統： 過溫和洩漏保護，隔熱冷殼配備空氣冷卻。
• 完整的系統套件： 包括真空泵、壓力計、法蘭、塞子、熱電偶和爐管。

自訂選項

• 管徑：40 公釐至 120 公釐
• 加熱區長度：300 公釐 / 450 公釐
• 加熱元件：FeCrAl、 SiC 加熱元件, MoSi2 加熱元件
• 氣氛系統：單/多氣道，浮子或質量流量計
• 控制系統：PLC 觸控螢幕、資料記錄、遠端監控
• 真空系統：旋轉泵 / 分子泵
• 服務：全球安裝支援、培訓與維護

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技術規格

請注意： 所有機型均可客製化。如需完整規格表或諮詢，請與我們聯絡。

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